一种具有导热装置的蒸镀线源坩埚
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摘要
本实用新型涉及线源坩埚技术领域，特别涉及一种具有导热装置的蒸镀线源坩埚，通过设置坩埚本体内腔中设置导热装置，坩埚本体侧壁的能量能够通过导热板传导至坩埚本体内腔的中部以及中部的有机材料，这样能够提高坩埚本体内腔的有机材料受热的均匀性，有利于有机材料的蒸镀速率保持稳定，从而提高基板薄膜的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
一种具有导热装置的蒸镀线源坩埚
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921576328.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-20
授权号 ：
CN211897086U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
张麒麟卢玄龙林少钦
申请人 ：
福建华佳彩有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区涵中西路1号
代理机构 ：
福州市博深专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
柯玉珊
优先权 ：
CN201921576328.2
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/12
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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