蒸镀装置
专利权的终止
摘要
一种蒸镀装置，其包括一用于容置一蒸镀材料的坩埚，且该坩埚顶部具有一气流出口，以及一套设在所述坩埚气流出口周缘的衬板，且该衬板具有一与所述坩埚气流出口配合的开口，其中，所述衬板的开口内壁面具有锯齿状突起结构。本发明提供的蒸镀装置可以防止蒸镀材料污染。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101003888A
申请号 ：
CN200610033200.2
公开（公告）日 ：
2007-07-25
申请日 ：
2006-01-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
简士哲
申请人 ：
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200610033200.2
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/56 C23C14/30 C23C14/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2017-03-08 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101707181279
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2006100332002
申请日 : 20060121
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20160121
号牌文件序号 : 101707181279
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2006100332002
申请日 : 20060121
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20160121
2009-07-22 ：
授权
2008-03-12 ：
实质审查的生效
2007-07-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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