蒸镀装置

授权

摘要

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚，具有蒸发槽；盖板，盖设于蒸发槽上；喷嘴组，与蒸发槽连通，喷嘴组包括第一喷嘴组和第二喷嘴组，第二喷嘴组设置于第一喷嘴组的两端；第一喷嘴组包括多个第一喷嘴和两个端部喷嘴，第二喷嘴组包括多个第二喷嘴，端部喷嘴位于第一喷嘴组沿排列方向的端部，端部喷嘴分别与第一喷嘴和第二喷嘴邻接；端部喷嘴和与其相邻的第一喷嘴或第二喷嘴之间的间距为第一间距，相邻两个第一喷嘴之间的间距为第二间距，相邻两个第二喷嘴之间的间距为第三间距，第一间距大于第二间距，第二间距大于第三间距。本申请提供的蒸镀装置有效地提高了基材的蒸镀质量，特别是基材边缘的蒸镀质量。

基本信息

专利标题：

蒸镀装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020063436.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-13

授权号：

CN211522305U

授权日：

2020-09-18

发明人：

林文晶钱海涛轩景泉

申请人：

上海升翕光电科技有限公司

申请人地址：

上海市金山区夏宁路666弄62号

代理机构：

北京汇思诚业知识产权代理有限公司

代理人：

冯伟

优先权：

CN202020063436.6

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24