一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚
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摘要
本实用新型公开了一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体内可拆卸设置有导热结构，所述导热结构包括若干呈圆周分布的导热片，相邻导热片之间连接有导热丝。本实用新型的坩埚通过内置的导热结构，在加热过程中，热量通过坩埚传导到导热结构上，通过导热结构，再将热量传导给材料，充分降低材料升温不均匀的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920748649.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-23
授权号 ：
CN209906870U
授权日 ：
2020-01-07
发明人 ：
汪烨辰
申请人 ：
湖畔光电科技（江苏）有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市金坛市金坛区华城中路168号
代理机构 ：
北京律远专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
全成哲
优先权 ：
CN201920748649.X
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2020-01-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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