一种微波等离子体设备自动控压装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种微波等离子体设备自动控压装置，包括连接在真空泵与微波等离子体设备的真空腔之间的微调阀，还包括与微调阀相连以调节微调阀开合度的动作模块、与动作模块相连以控制动作模块动作的控制模块、与控制模块相连用以输入操作指令的操作模块以及用以将真空腔内气压值反馈至控制模块的反馈模块。采用该装置进行控压自动化程度高、控制精度好并且操作非常方便。
基本信息
专利标题 ：
一种微波等离子体设备自动控压装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021508488.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-27
授权号 ：
CN213298979U
授权日 ：
2021-05-28
发明人 ：
张天翊张军安朱海洋张冠群李大栓何小兵
申请人 ：
宁波晶钻工业科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市镇海区庄市街道中官西路777号
代理机构 ：
宁波聚禾专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
糜婧
优先权 ：
CN202021508488.6
主分类号 ：
F16K31/04
IPC分类号 ：
F16K31/04 F16K37/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K31/00
操作装置；释放装置
F16K31/02
电力的；磁力的
F16K31/04
使用马达
法律状态
2021-05-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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