一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置
授权
摘要
本申请涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括设置于微波等离子体化学气相沉积设备外围的若干个相互连接的复合夹心屏蔽板及其固定底座，复合夹心屏蔽板具有内侧板、外侧板和设置在内侧板和外侧板之间的中间隔板，内侧板与中间隔板之间的第一空隙内设置有冷却水循环管道，外侧板与中间隔板之间的第二空隙内填充有孔洞直径小于微波波长的铜网，相邻复合夹心屏蔽板内的铜网通过电导线相互连接在一起，每个复合夹心屏蔽板内的铜网上设置有用于与地面连接的接地导线。本实用新型屏蔽装置的复合夹心屏蔽板内同时设置冷却水循环管道和铜网，屏蔽效果良好，既能有效保证工作人员的身体健康，又可以减少对设备本身的损害。
基本信息
专利标题 ：
一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920995231.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN210657130U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
俞佳宾李凡眭立洪
申请人 ：
江苏永鼎光纤科技有限公司;江苏永鼎股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区黎里镇越秀路888号
代理机构 ：
苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
马刚强
优先权 ：
CN201920995231.9
主分类号 ：
C23C16/511
IPC分类号 ：
C23C16/511
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
C23C16/511
采用微波放电
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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