一种用于动子座的散热装置及曝光机
授权
摘要
本实用新型揭示了一种用于动子座的散热装置及曝光机，所述散热装置包括连接座和水冷板，水冷板通过连接座设置于动子座的一侧，水冷板包括板体、设置于板体上的水冷槽及容置于水冷槽内的水冷管，水冷管包括至少一个进水口和至少一个出水口。本实用新型通过在动子座下方设置对其散热的水冷板，减小了动子座发热对平台的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种用于动子座的散热装置及曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021668694.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-12
授权号 ：
CN212905897U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
龚双平李刘飞陈国军吴景舟马迪
申请人 ：
江苏迪盛智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号锐晶大厦2号楼2层
代理机构 ：
苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
安纪平
优先权 ：
CN202021668694.3
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN212905897U.PDF
PDF下载
