激光加工晶圆转运精密定位机构

授权

摘要

本实用新型提供一种可以检测夹持位置是否准确的激光加工晶圆转运精密定位机构，包括滑动设置在机架的晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括上夹持板、下夹持板以及夹持气缸，夹持气缸与机架连接并带动上夹持板或者下夹持板任一移动使其夹持或者松开；所述晶圆夹持机构设置与晶圆托盘一端接触夹持挡片、夹持挡片上设置夹持挡片压力传感器，夹持挡片压力传感器的测量面与夹持挡片接触晶圆托盘的外表面平齐。夹持挡片压力传感器检测晶圆托盘前后方向是否到位。检测到位后，夹持气缸开始动作进行夹持。

基本信息

专利标题：

激光加工晶圆转运精密定位机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021701238.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-16

授权号：

CN212946117U

授权日：

2021-04-13

发明人：

巩铁建陶为银

申请人：

河南通用智能装备有限公司

申请人地址：

河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

代理机构：

郑州中原专利事务所有限公司

代理人：

张春

优先权：

CN202021701238.4

主分类号：

B23K26/70

IPC分类号：

B23K26/70