激光切割用加工晶圆转运结构

授权

摘要

本实用新型公开了一种激光切割用加工晶圆转运结构，包括安装框和限位装置，所述安装框上端与提手固定连接，且安装框侧壁与定位块固定连接，同时安装框内部固定连接有晶圆固定板，并且晶圆固定板内部开设有卡槽，安装框底部与卡扣固定连接，且安装框底部设置在转运装置内部，同时转运装置内壁上固定连接有定位轨道，同时转运装置外壁右下侧开设有凹槽；所述限位装置固定安装在转运装置内部下侧，且限位装置左侧安装有定位管，同时定位管右侧安装有定位柱。该激光切割用加工晶圆转运结构，卡块向左移动，此时卡块对卡扣失去固定力，通过提手，向上拉动安装框，即可将安装框从转运装置内部取出，便于与将晶圆从安装框内部取出。

基本信息

专利标题：

激光切割用加工晶圆转运结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021900902.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-03

授权号：

CN212587465U

授权日：

2021-02-23

发明人：

巩铁建陶为银

申请人：

河南通用智能装备有限公司

申请人地址：

河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

代理机构：

郑州中原专利事务所有限公司

代理人：

范小方

优先权：

CN202021900902.8

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673