量产型高效光伏电池三合一镀膜设备
授权
摘要
本实用新型公开了量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，涉及TOPcon电池背面钝化领域，光伏企业的TOPCON电池选用的钝化膜结构为Al2O3/SiNx双层膜或SiO2/Al2O3/SiNx三层膜结构，上述三层膜结构通常需要三台以上设备来制作，本实用新型通过一个镀膜设备就可完成上述镀膜，设计有炉管，炉管两端安装有法兰，所有气体均通过法兰上的进气孔进入石英管内,并且密封石英管内与外界,有冷却水可在法兰内部流通,给法兰降温,避免橡胶密封圈融化，所述法兰四周均匀分布进气孔，保证气源通入均匀。使镀膜工艺更简单，降低了生产成本，镀膜过程不用多次周转，减少污染风险工艺稳定性更高，缩短了氧化时间，极大的提升了产能。
基本信息
专利标题 ：
量产型高效光伏电池三合一镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021710165.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-17
授权号 ：
CN213242577U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
陶俊王军吴杰
申请人 ：
无锡赛瑞达科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区锡贤路106号
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤东凤
优先权 ：
CN202021710165.5
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/0216 C23C8/10 C23C16/34 C23C16/40 C23C16/44 C23C28/04
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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