一种多仓组合式量产真空镀膜系统
专利权的终止
摘要
本实用新型公开一种多仓组合式真空镀膜系统，总体采用组合式多真空仓结构，其中至少包括2个或2个以上的真空仓，每一真空仓至少可以进行镀膜或辅助处理，所述的各镀膜仓中至少有一个仓中的工件可沿环形轨道连续运行多圈镀厚膜；各辅助处理仓可以实现镀膜之外的各种辅助处理；在相邻真空仓之间有自动真空闸门控制流程；一种柔性输送带在真空条件下沿导轨运行，自动交换或输送工件，保证了实施大批量镀膜生产线的需要。
基本信息
专利标题 ：
一种多仓组合式量产真空镀膜系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720170078.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-08-07
授权号 ：
CN201224759Y
授权日 ：
2009-04-22
发明人 ：
刘阳
申请人 ：
北京实力源科技开发有限责任公司;刘阳
申请人地址 ：
100072北京市丰台区长辛店东山坡三里63号
代理机构 ：
北京中誉威圣知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭晓玲
优先权 ：
CN200720170078.3
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2017-09-26 ：
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101749621563
IPC(主分类) : C23C 14/56
专利号 : ZL2007201700783
申请日 : 20070807
授权公告日 : 20090422
终止日期 : 无
号牌文件序号 : 101749621563
IPC(主分类) : C23C 14/56
专利号 : ZL2007201700783
申请日 : 20070807
授权公告日 : 20090422
终止日期 : 无
2009-04-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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