一种半导体检测用可旋转的激光测量仪
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体检测用可旋转的激光测量仪,包括箱体,所述箱体内腔底部的轴心处通过轴承活动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的顶部螺纹连接有螺纹管,所述螺纹管的顶部贯穿箱体的内腔并延伸至箱体的外部,所述螺纹管的顶部固定连接有壳体,所述壳体底部的两侧均固定连接有限位杆。本实用新型通过箱体、螺纹杆、螺纹管、壳体、限位杆、第一电机、第一齿轮、第二齿轮、转杆、从动齿轮、第二电机、主动齿轮、操作台和测量仪本体的配合使用,能够有效的解决传统半导体检测用激光测量仪不具备旋转功能的问题,该装置方便对擦作台进行旋转,从而为半导体检测提供更加便捷的使用方式,同时可调节高度,易于操作。

基本信息
专利标题 :
一种半导体检测用可旋转的激光测量仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021763865.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-21
授权号 :
CN213238770U
授权日 :
2021-05-18
发明人 :
谢泽宇李随群
申请人 :
李随群
申请人地址 :
广东省广州市花都区颐林北街5号503房
代理机构 :
深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨艳霞
优先权 :
CN202021763865.0
主分类号 :
G01B11/00
IPC分类号 :
G01B11/00  G01N21/84  H01L21/66  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2021-05-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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