一种五轴真空位移台
授权
摘要
本发明涉及真空设备,具体是一种五轴真空位移台，X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆，压板与旋转调整装置底端法兰连接，偏转调整装置底端与旋转调整装置法兰连接，本发明实现在超高真空环境下的样品的立体驱动，Z向采用焊接波纹管密封，达到放出气体少的要求，中空构造，同时X、Y、Z向直线滑驱动顺畅，X、Y、Z三个方向的驱动位置可精确控制,可针对不同的角度对样品进行旋转和偏转调整，易于操作。
基本信息
专利标题 ：
一种五轴真空位移台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021785249.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
CN213302258U
授权日 ：
2021-05-28
发明人 ：
董国材张祥梁枫张金龙
申请人 ：
国成仪器（常州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市常州西太湖科技产业园祥云路6号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021785249.5
主分类号 ：
G01N35/10
IPC分类号 ：
G01N35/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N35/00
不限于用G01N1/00至G01N33/00中任何单独一组提供的方法或材料所进行的自动分析；及材料的传送
G01N35/10
用于将样品传送给、传送入分析仪器或从分析仪器中输出样品的装置，例如吸入装置、注入装置
法律状态
2021-05-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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