一种晶圆吸附载盘
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆吸附载盘，包括固定框，所述固定框的内壁底端固定连接有连通器，所述连通器的下端固定连接有第二连接管，且第二连接管与连通器相通，所述固定框的下端固定连接有第一活塞管，且第一活塞管的上端与第二连接管固定连接，第一活塞管与第二连接管相通，所述第一活塞管内设置有第二活塞，且第二活塞与第一活塞管内壁滑动连接并密封，所述第二活塞的下端固定连接有连接杆。本实用新型中，多组软吸盘能对晶圆更好的进行吸附，即使有几个松动也不会影响吸附，同时第二活塞管的结构使第一活塞的活动有限度，使第二活塞管内产生的气压有一定的限度，防止大气压过大时晶圆损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆吸附载盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021817626.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
CN213164997U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
姬煜赵通
申请人 ：
江苏无恙半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河路北侧、华山路西侧
代理机构 ：
深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
涂柳晓
优先权 ：
CN202021817626.9
主分类号 ：
B25B11/00
IPC分类号 ：
B25B11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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