一种新型研磨液供应系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种新型研磨液供应系统，包括原液桶A、原液桶B、混合桶A、混合桶B、VMB阀箱，原液桶A、原液桶B通过管道一分别连接泵A、泵B，泵A、泵B通过管道二连接管道四，并通过管道四分别连接混合桶A、混合桶B，混合桶A、混合桶B的出液口通过管道五分别连接泵C、泵D，泵C、泵D通过管道六分别连接过滤器组A、过滤器组B，过滤器组A、过滤器组B分别通过管道八、管道九连接VMB阀箱，VMB阀箱分别通过管道十、管道十一连接混合桶A、混合桶B的回流口；本实用新型同现有技术相比，能够实现24h不停机运行，提高了研磨效率，缩减了研磨成本，避免了研磨液结晶带来的晶片良率下降问题。
基本信息
专利标题 ：
一种新型研磨液供应系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021829393.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
CN212918939U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
张久华
申请人 ：
冠礼控制科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区富特西一路333号长城大楼第一层A1－2部位
代理机构 ：
上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨军
优先权 ：
CN202021829393.4
主分类号 ：
B24B37/00
IPC分类号 ：
B24B37/00 B24B37/34 B24B57/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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