芯片管脚位置检测装置及芯片制造系统
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型提供了一种芯片管脚位置检测装置及芯片制造系统,所述芯片管脚位置检测装置包括底座、量测板和芯片承接模组,所述量测板上设有与待测芯片的各个待测管脚一一对应的量测孔,所述芯片承接模组能承接所述待测芯片,并带动所述待测芯片向所述量测板运动,以检测所述待测芯片的各个待测管脚是否能够插入到所述量测孔中,由能够快速检查芯片管脚位置是否正常,大大缩短了芯片管脚位置检测时间,提高了检测效率和生成效率。
基本信息
专利标题 :
芯片管脚位置检测装置及芯片制造系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021891135.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-02
授权号 :
CN212673996U
授权日 :
2021-03-09
发明人 :
赵伟
申请人 :
中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹廷廷
优先权 :
CN202021891135.9
主分类号 :
G01B5/00
IPC分类号 :
G01B5/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
法律状态
2021-08-27 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01B 5/00
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
变更后 : 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
变更后 : 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
变更后 : 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
变更后 : 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
2021-03-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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