真空镀膜机用高密封观察窗
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摘要

本实用新型公开了真空镀膜机用高密封观察窗,所述观察窗安装在镀膜机的机箱上,包括窗盖、密封玻璃、防污玻璃和防污板,所述机箱上设置有观察口,密封玻璃遮盖观察口,所密封玻璃的中心位置设置有穿孔,所述穿孔中穿入密封座,所述密封座包括密封头,以及密封杆,密封座的外端面上设置有螺纹盲孔,所述螺纹盲孔内螺纹连接有螺套,还包括一转轴,所述转轴从外到内,依次贯穿螺套、密封头、密封杆,连接防污板。本实用新型具有的优点是在密封玻璃与转轴之间设置密封座,密封座两侧与密封玻璃之间有密封圈,通过螺母保证密封性,而密封座与转轴之间还设置螺套,通过螺套压迫密封座和转轴之间的密封垫,使得密封垫与转轴紧紧贴合,保证了密封性。

基本信息
专利标题 :
真空镀膜机用高密封观察窗
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021921027.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-04
授权号 :
CN213624364U
授权日 :
2021-07-06
发明人 :
李忠
申请人 :
成都齐荣科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路24号实德工业园
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021921027.1
主分类号 :
C23C14/52
IPC分类号 :
C23C14/52  C23C14/35  
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/52
观察镀覆工艺的装置
法律状态
2021-07-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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