一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗
授权
摘要
本实用新型公开了一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗，包括设置在真空室壁上的观察窗，在观察窗斜上方的真空室壁上设有真空密封轴，所述真空密封轴穿过真空室壁与设置在真空侧的挡板连接，所述挡板包括与垂直方向呈一定夹角的连接部以及遮挡部，在真空室壁内侧设有限制挡板关闭位置的下限位块，所述真空密封轴大气侧一端连接有手柄。本实用新型结构简单，布局紧凑、合理，外表美观，手感舒适；开启、关闭方便，可手动随意调节开启角度；遮挡效果好，避免了普通观察窗玻璃在镀膜过程中变得模糊不清的情况，延长了观察窗玻璃更换或清洁的周期。
基本信息
专利标题 ：
一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921758211.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-20
授权号 ：
CN211199396U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
刘国利周毅李国强
申请人 ：
湖南玉丰真空科学技术有限公司
申请人地址 ：
湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921758211.6
主分类号 ：
C23C14/52
IPC分类号 ：
C23C14/52
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/52
观察镀覆工艺的装置
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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