一种用于真空镀膜机的观察窗结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的观察窗结构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决传统的观察窗仅能通过偏光膜或者黑玻璃观察，当光线较弱时，很难看清真空腔内的情况的问题。其包括压紧法兰、翻转法兰、旋转法兰和观察窗把手，压紧法兰安装在真空室外壁，翻转法兰通过销轴与压紧法兰连接，旋转法兰通过氟塑料销钉安装在翻转法兰上，并能相对转动。压紧法兰与真空腔体间设有铅玻璃、O型圈及氟塑料垫圈，翻转法兰上固定有第一高硼玻璃，用于贴偏光膜。旋转法兰上固定有第二高硼玻璃，同样用于贴偏光膜。本实用新型适用于真空镀膜机的观察窗。
基本信息
专利标题 ：
一种用于真空镀膜机的观察窗结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121675396.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-07-22
授权号 ：
CN216445456U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
黄子建薛海
申请人 ：
成都天一国泰真空设备有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市龙泉驿区经济技术开发区(龙泉驿区)大连路38号2栋1-2层1号附1号
代理机构 ：
成都聚蓉众享知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘艳均
优先权 ：
CN202121675396.1
主分类号 ：
C23C14/52
IPC分类号 ：
C23C14/52 C23C14/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/52
观察镀覆工艺的装置
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
