一种蚀刻设备的精度校准装置
授权
摘要
本实用新型涉及蚀刻技术领域，尤其是涉及一种蚀刻设备的精度校准装置，包括工作台，工作台上安装有第一支架，第一支架上安装有输送带，输送带上设有若干个夹具，工作台上安装有第二支架，第二支架上安装有横板，横板上安装有第一气缸，第一气缸下端安装有安装板，第一气缸带动安装板上下移动，安装板上设有红外发射器，安装板下端设有蚀刻机，蚀刻机设置在夹具上方，夹具上设有红外接收器，蚀刻机外安装有罩体，横板上安装有储液箱，储液箱与蚀刻机通过连接管连接，工作台上设有清洗机构，通过红外反射器与红外接收器的设置，可以提高蚀刻精度。
基本信息
专利标题 ：
一种蚀刻设备的精度校准装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021943214.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN212903056U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
连大学
申请人 ：
深圳市卓力达电子有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道新和福园一路华发工业园A3幢
代理机构 ：
东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
周松强
优先权 ：
CN202021943214.X
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 H05K3/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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