本实用新型涉及硅片清洗技术领域，尤其为一种插片清洗机阶梯式槽体结构，包括槽体和循环水泵，所述槽体内部固定连接有循环水泵，所述循环水泵左端面固定连接有输入管，所述循环水泵上端面固定连接有输出管，所述输出管另一端固定连接有空心管，所述空心管右端面固定连接有均匀分布的喷水管，所述槽体上端面设有多个水池，所述槽体前后端面均固定连接有密封板，所述水池内部均设有堵板，所述堵板前后端面均固定连接有导向板；本实用新型中；通过设置的槽体、循环水泵、堵板、水池和密封板，在清洗过程中，改变槽体位置和溢流方向，数个槽呈阶梯式设置，其产生的泡沫杂质会向右流出，保证硅片在取出时，表面不会沾有泡沫杂质，改善清洗效果。