一种靶材表面喷砂保护装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种靶材表面喷砂保护装置，所述靶材表面喷砂保护装置包括靶材上表面保护层、靶材侧面保护板和至少2个靶材侧面夹具，在实际使用过程中，操作人员先通过所述靶材上表面保护层对待喷砂靶材的上表面进行保护，然后通过所述靶材侧面保护板对待喷砂靶材的侧面进行保护，最后通过至少2个靶材侧面夹具对所述靶材侧面保护板加以固定。本实用新型所述靶材表面喷砂保护装置不仅可以达到保护靶材溅射区的目的，还可以重复使用，避免胶的残留，并且可以提高喷砂保护的操作效率，降低成本。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材表面喷砂保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022285682.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-14
授权号 ：
CN213532231U
授权日 ：
2021-06-25
发明人 ：
姚力军窦兴贤王学泽王青松杨欢
申请人 ：
合肥江丰电子材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区大禹路1555号
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202022285682.9
主分类号 ：
B24C9/00
IPC分类号 ：
B24C9/00 C23C14/34
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24C
磨料或微粒材料的喷射
B24C9/00
磨料喷射机或装置的附件，如工作室，用过的磨料的处理装置
法律状态
2021-06-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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