本实用新型涉及硅麦基板加工技术领域，具体涉及一种硅麦基板加工用干燥装置，包括干燥箱，干燥箱的前侧壁铰接有密封门，干燥箱的内腔中部设有若干放置网板，干燥箱的左右两侧壁上下两侧对称固定插接有加热布气盘，且下侧加热布气盘的外侧壁上安装有抽风机，抽风机的输入端连通有循环管，循环管的上端与上侧加热布气盘的内腔相连通，抽风机的输出端与下侧加热布气盘的内腔相连通；加热布气盘包括壳体、布气孔和加热网板，远离循环管一侧的壳体侧壁上开设有若干布气孔，壳体的内腔内嵌设有加热网板；解决了加热干燥气流分布不均匀、使其与硅麦基板的表面接触不均匀，导致干燥效果差，同时缺乏对加热干燥过程中产生的湿气进行过滤除湿的问题。