一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及硅麦基板加工技术领域,具体涉及一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置,包括清洗箱,清洗箱的底部设有减震板,清洗箱的顶部铰接有盖板,清洗箱的内腔底部线性设有若干超声波震板,清洗箱的前后内侧壁对称线性设有若干卡槽,卡槽内卡接有卡条,卡条设置于矩形网框的前后侧壁,矩形网框的内腔内由左至右依次设有若干分割网板,通过分割网板将矩形网框分割成若干矩形放置腔;解决了大多通常的做法是将硅麦基板直接堆叠放置到清洗池中进行浸润去除污染物,由于清洗池内的清洗去污溶液为静止状态,对硅麦基板的表面污染物的去污能力较慢,导致清洗效率低下,同时功能单一的问题。
基本信息
专利标题 :
一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022350269.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-21
授权号 :
CN213468896U
授权日 :
2021-06-18
发明人 :
刘磊王小波郑强
申请人 :
无锡矽晶半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市惠山区堰桥街道堰桥配套区(南区)西昌路20号
代理机构 :
无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨立秋
优先权 :
CN202022350269.6
主分类号 :
B08B3/12
IPC分类号 :
B08B3/12 B08B3/14 B08B13/00 B32B9/00 B32B9/04 B32B27/02 B32B27/36 B32B27/12 B32B15/20 B32B15/14 B32B33/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的(声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13;使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20;超声波振动用于一般化学、物理,或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-06-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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