一种基板表面清洗装置及清洗设备

授权

摘要

本实用新型提供一种基板表面清洗装置及清洗设备，包括：吸附装置和气流清洁装置，其中，所述吸附装置包括：用于吸附基板的吸附板和转动结构，所述转动结构与所述吸附板连接，所述转动结构用于使所述吸附板翻转，所述气流清洁装置与所述吸附装置对应设置，当所述基板被所述吸附板吸附并通过所述转动结构翻转至水平向下时，所述气流清洁装置沿着所述吸附板移动，并吹出气流至所述基板，所述气流流动的方向与所述基板的表面之间非垂直，本实用新型提供的基板表面清洗装置和清洗设备，将基板翻转后在进行清洁，避免了异物在清洁时对基板表面造成的损伤，极大地提高了基板的清洁效果。

基本信息

专利标题：

一种基板表面清洗装置及清洗设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920737956.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-22

授权号：

CN210121596U

授权日：

2020-03-03

发明人：

唐玮

申请人：

成都中电熊猫显示科技有限公司

申请人地址：

四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

黄溪

优先权：

CN201920737956.8

主分类号：

B08B5/02

IPC分类号：

B08B5/02 B08B13/00