一种蚀刻机设备机台酸排风处理设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种蚀刻机设备机台酸排风处理设备，涉及车间排风技术领域，针对现有设备在保养中产生的酸性气体对造成车间内的金属部件及设备严重腐蚀，导致产品良率不稳定，设备使用寿命降低等问题，现提出如下方案，包括设备本体和天花板本体，所述设备本体的顶部设有天花板本体，所述设备本体的一侧焊接有排酸管道，所述排酸管道上安装有风机，所述风机的一端焊接有导管，所述导管的另一端焊接有排气罩，所述排气罩的底部固定连接有围帘。本实用新型结构简单新颖，降低蚀刻设备中三氯化硼造成的车间污染及危害，延长设备的使用寿命，且净化加工车间环境，操作简单，使用效率高，提高产品合格率，适合进行推广使用。
基本信息
专利标题 ：
一种蚀刻机设备机台酸排风处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022342385.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-20
授权号 ：
CN213803992U
授权日 ：
2021-07-27
发明人 ：
王友林
申请人 ：
福建中晶科技有限公司
申请人地址 ：
福建省龙岩市永定区高陂镇永定工业园区
代理机构 ：
天津铂茂专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈晓蕾
优先权 ：
CN202022342385.3
主分类号 ：
C23F1/08
IPC分类号 ：
C23F1/08 F21V33/00 B08B15/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/08
装置，如照相印刷制版装置
法律状态
2021-07-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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