一种湿法蚀刻机台

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摘要

本实用新型公开了一种湿法蚀刻机台，所述湿法蚀刻机台为密闭的腔室，包括载入端结构；所述载入端结构包括第一感应门、载入端、第一传导机构和传感器，所述湿法蚀刻机台的一侧设置有所述第一感应门，所述载入端位于所述湿法蚀刻机台内，所述第一传导机构的一端与所述第一感应门连接，所述第一传导机构的另一端与所述载入端连接，所述第一传导机构的一部分延伸到所述第一感应门外，所述晶舟放置在所述第一传导机构上，所述湿法蚀刻机台上设置有多个传感器。无需操作人员提前开启第一感应门，只需将晶舟放到机台外部的载台上，消除机台内的挥发性化学液体扩散到机台外对人体造成危害，同时缩短操作人员的操作时间，提高效率，安全可靠。

基本信息

专利标题：

一种湿法蚀刻机台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922096963.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-29

授权号：

CN210805715U

授权日：

2020-06-19

发明人：

温春兰吴海达蔡松智

申请人：

福建省福联集成电路有限公司

申请人地址：

福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号

代理机构：

福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

徐剑兵

优先权：

CN201922096963.7

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67