本发明提供一种实现高温化学蚀刻反应的湿法处理方法，具体包括以下步骤：步骤S1，控制一机器人将一晶圆放置到一放置台上，并控制放置台上的一通气装置输出一高压气流以使晶圆悬浮于放置台上；步骤S2，喷淋一第一清洗液至晶圆的表面进行高温化学蚀刻，以及喷淋一第二清洗液至晶圆的侧面进行湿法处理，并控制机器人将晶圆取下。有益效果是本方法通过通气设备输出高压气流使晶圆处于悬浮状态，并对晶圆进行非接触式清洗，对晶圆的上表面喷淋第一清洗液进行高温化学蚀刻，对晶圆的侧面喷淋第二清洗液进行湿法处理，在晶圆的下表面喷射高压气流，以此实现对晶圆全方位的清洗、蚀刻与保护，并通过稳定加热的第一清洗液实现稳定的高温化学蚀刻反应。