一种湿法蚀刻机台清洗装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种湿法蚀刻机台清洗装置。包括：储液箱，存储清洗液；至少包括顺次设置于储液箱一侧的第二冲洗单元、第一冲洗单元，第一、第二冲洗单元分别对待清洗物进行第一次冲洗、第二次冲洗；储液箱通过第一输液管与第一、第二冲洗单元连通向第一、第二冲洗单元输送清洗液；第一冲洗单元包括第一积液箱，积存经第一冲洗单元清洗后的清洗液，第一积液箱底部设有排流管；第二冲洗单元包括第二积液箱，第二积液箱通过第二输液管与第一冲洗单元连通，第二输液管上设置有过滤装置，过滤第二积液箱内排出的清洗液。通过设置的积液箱和过滤装置将清洗液进行过滤后重复利用，减少了清洗液的用量，降低了厂务处理废水的费用。

基本信息

专利标题：

一种湿法蚀刻机台清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022273776.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-13

授权号：

CN213752633U

授权日：

2021-07-20

发明人：

兰升友李瑶熊超超肖清凯杨富可

申请人：

重庆康佳光电技术研究院有限公司

申请人地址：

重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）

代理机构：

深圳鼎合诚知识产权代理有限公司

代理人：

李发兵

优先权：

CN202022273776.4

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67