一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构

授权

摘要

本实用新型公开一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构，通过动力机构、控制机构、导轨、固定架的相互配合实现晶圆的甩干。首先位于甩干机构底部的导轨将从固定架内伸出，用于晶舟的放置。随后经所导轨将带晶舟一同移动至所述固定架中，随后通过动力机构工作，所述控制机构、导轨、固定架以及位于所述固定架内的晶舟将一同转动，甩干晶圆上残留的液体。通过动力机构、控制机构、导轨、固定架的相互配合将大幅提升晶圆的甩干效率，同时导轨的可伸缩设置将提高晶舟的运输效率。

基本信息

专利标题：

一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922101052.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-29

授权号：

CN210925955U

授权日：

2020-07-03

发明人：

温春兰吴海达

申请人：

福建省福联集成电路有限公司

申请人地址：

福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号

代理机构：

福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

徐剑兵

优先权：

CN201922101052.9

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67