一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置；支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距平行安装在所述两组导电安装架之间；导电安装架包括正极连接部和负极连接部，正极连接部与电源正极连接，负极连接部与电源负极连接；在相邻两石墨舟片中，其中一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接；两组导电安装架上均设有沿石墨舟片长度方向的镂空槽。该石墨舟能够减轻石墨舟的整体重量，并可以通过缩短硅片镀膜工艺过程对石墨舟升温或者降温操作的时间，提高镀膜效率，也可以在镀膜时通过增强气体的流动性来提高镀膜效率以及镀膜效果。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022349033.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-20
授权号 ：
CN214004778U
授权日 ：
2021-08-20
发明人 ：
李文红唐青岗向建求付浩然周绪成
申请人 ：
深圳市石金科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区松岗街道同富裕工业区安润路2号
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
罗伟富
优先权 ：
CN202022349033.0
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/50 C23C16/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-08-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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