一种方硅芯铸锭炉的加热器结构

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摘要

本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉的加热器结构，主要以解决电阻分配和功率分配对称性较差，使得现有方硅芯炉热场温度分布不均的问题。包括：侧加热器、顶加热器与石墨电极，所述侧加热器由侧加热板组成，所述侧加热板分为四个，分别设置为前后对称与左右对称；所述顶加热器设置在所述侧加热器的上方，所述顶加热器包括第一加热板、第二加热板与第三加热板，所述第二加热板连接所述第一加热板；所述第三加热板连接所述第二加热板，所述石墨电极连接在所述侧加热器与所述顶加热器上。本实用新型获得了加热器电阻和功率分配对称性好，利于形成均匀的温度分布，有助于提高硅晶体品质的优点。

基本信息

专利标题：

一种方硅芯铸锭炉的加热器结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022355021.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-21

授权号：

CN214032751U

授权日：

2021-08-24

发明人：

徐永亮李振徐养毅

申请人：

苏州昀丰半导体装备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市张家港经济技术开发区（杨舍镇）晨丰公路1436号

代理机构：

苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司

代理人：

徐鸣

优先权：

CN202022355021.9

主分类号：

C30B28/06

IPC分类号：

C30B28/06 C30B29/06