晶硅铸锭加热器

授权

摘要

本实用新型涉及一种晶硅铸锭加热器，包括顶部加热器，中间区域厚度大、电阻小，四周边缘区域厚度小、电阻大；侧部加热器，中上部区域厚度大、电阻小，侧部加热器的下部区域厚度小、电阻大。顶部加热器的四周边缘区域电阻大，能增加顶部加热器四周边缘区域发热量以补偿该区域的辐射散热量，使顶部加热器温度均匀；侧部加热器的下部区域电阻大，能增加侧部加热器下部区域发热量以补偿侧部加热器下部区域的辐射散热量，使侧部加热器温度均匀；由于顶部加热器和侧部加热器均温度均匀，铸锭过程中，能减轻冷壁效应和坩埚侧壁形核，使长晶界面较平缓长晶速率波动更小，进而减少坩埚涂层向晶锭中的扩散，减小晶锭中上部位错缺陷，提高多晶硅锭质量。

基本信息

专利标题：

晶硅铸锭加热器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922036590.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-22

授权号：

CN211570834U

授权日：

2020-09-25

发明人：

王双丽张华利胡动力

申请人：

江苏协鑫硅材料科技发展有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市经济开发区杨山路88号

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

刘宁

优先权：

CN201922036590.4

主分类号：

C30B28/06

IPC分类号：

C30B28/06 C30B29/06