高精度高稳定性电子散斑干涉实时相位测量系统
授权
摘要
提供一种高精度高稳定性电子散斑干涉实时相位测量系统，其包括：迈克尔逊干涉仪，其包括相移镜和数字相机；压电陶瓷，用于前后移动所述相移镜；驱动器，用于驱动所述压电陶瓷；方波电压信号与三角波电压信号同步发生器，分别与所述驱动器和数字相机连接，所述数字相机以周期t在所述周期为4t的三角波电压信号内等时间间隔采集A、B、C和D四个时刻的四幅散斑干涉图像，获得对应的光强分布IA、IB、IC、ID，在所述4t时间内所述相移镜的位移为3λ/4或3λ/8；以及处理器，用于将所述IA、IB、IC、ID进行n等分，对n等分的子图像多线程并行计算获得n个子相位图，拼接n个子相位图，获得表征被测物体离面位移或离面位移导数的实时相位。
基本信息
专利标题 ：
高精度高稳定性电子散斑干涉实时相位测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022357977.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
CN213208916U
授权日 ：
2021-05-14
发明人 ：
刘斌
申请人 ：
上海工程技术大学
申请人地址 ：
上海市长宁区仙霞路350号
代理机构 ：
北京云嘉湃富知识产权代理有限公司
代理人 ：
程凌军
优先权 ：
CN202022357977.2
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01B11/16 G01J9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2021-05-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
