本实用新型公开了一种单晶炉副室自动清洗装置，包括移动机构，升降机构，清洗机构以及控制系统，升降机构垂直固接于移动机构内，其顶部连接有清洗机构，清洗机构包括旋转张紧机构和擦拭机构，旋转张紧机构包括摆动气缸，摆动气缸与升降机构的顶部垂直固接，其伸缩杆顶端水平连接有方形固定台，方形固定台的各边中心处分别水平连接有气缸，擦拭机构由四个弧形边朝外水平设置的D型无尘布安装架构成，每个D型无尘布安装架分别与对应的气缸伸缩杆端部固接，D型无尘布安装架上缠绕有无尘布，本实用新型改变了传统人工清洗的方法，通过逐级伸缩，解决了空间和高度的难题，体积较小，操控灵活，安全可靠，工作效率高，清洗效果好。