机器学习装置、基板处理装置、完成学习模型、机器学习方法、...
实质审查的生效
摘要
具备：取得包含基板在装置内的位置及在各单元内的经过时间的状态信息的状态信息取得部；具有预测在某个状态下对于进行是否从匣盒取出新的基板及搬送至哪个处理单元的行动的价值的预测模型，并将取得的状态信息作为输入，基于预测模型选择一个行动的行动选择部；以进行所选择的行动的方式发送指示信号的指示信号发送部；取得包含处理片数与等待时间的动作结果的动作结果取得部；及以处理片数越多且等待时间越短则报酬越大的方式基于取得的动作结果来计算报酬，并基于该报酬来更新预测模型的预测模型更新部。
基本信息
专利标题 ：
机器学习装置、基板处理装置、完成学习模型、机器学习方法、机器学习程序
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114430707A
申请号 ：
CN202080065900.8
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2020-09-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
中村显中村贵正鸟越恒男大泷裕史
申请人 ：
株式会社荏原制作所
申请人地址 ：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
代理机构 ：
上海华诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
张丽颖
优先权 ：
CN202080065900.8
主分类号 ：
B24B37/10
IPC分类号 ：
B24B37/10 B24B37/005 B24B37/34 G06N20/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/10
申请日 : 20200910
申请日 : 20200910
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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