微光学互连元器件及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种微光学互连元器件(1)，微光学互连元器件包括光学平台，光学平台包括衬底(10)和至少一个光学对准结构(4)，衬底限定第一衬底表面，至少一个光学对准结构布置在第一衬底表面上，光学对准结构(4)适用于固定光学元器件和/或布置为对准结构以适应另一互连元器件(1)。光学平台进一步包括光偏转元件(30)，光偏转元件总体积小于1mm3，并且由折射率高于1的材料制成。光偏转元件(30)包括面向所述光学对准结构(4)的面(30”)，并且具有弯曲的反射表面(32)，使得入射到所述第一面(30”)的入射光束(200，202)偏转60°至120°之间的角度，所述入射光束(200，202)可以从所述衬底(10)的外部或内部提供。本发明进一步涉及一种光学器件(2)和光学系统(21)，光学器件包括至少一个光学互连元器件(1)，光学系统包括至少一个光学器件(2)。本发明还涉及一种光学互连元器件(1)的批量制备工艺。
基本信息
专利标题 ：
微光学互连元器件及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114424100A
申请号 ：
CN202080066189.8
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
罗杰·克朗恩布尔安热莉克·卢-迪尼阿米尔·侯赛因·加迪米
申请人 ：
瑞士电子显微技术研究和开发中心股份有限公司
申请人地址 ：
瑞士纳沙泰尔
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈鑫
优先权 ：
CN202080066189.8
主分类号 ：
G02B6/26
IPC分类号 ：
G02B6/26 G02B6/42 G02B6/124
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/24
光波导的耦合
G02B6/26
光耦合装置
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 6/26
申请日 : 20200917
申请日 : 20200917
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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