本发明公开一种检验系统。所述系统包含可与检验子系统通信地耦合的控制器，所述检验子系统经配置以接收来自样本的照射且产生图像数据。所述控制器包含一或多个处理器，其经配置以执行程序指令从而致使所述一或多个处理器：接收所述图像数据，其中所述图像数据包括至少一个图像；使用双三次内插或双线性内插对所述至少一个图像进行降低采样；使用傅里叶变换将所述至少一个图像从空间域变换到频域；从所述至少一个图像对高于阈值频率的频率进行滤波；使用逆傅里叶变换将所述至少一个图像从所述频域变换到所述空间域；及检测所述至少一个图像中的一或多个扁平图案缺陷。