陶瓷加热器和使用瞬时液相结合进行形成的方法
公开
摘要
一种加热器包括氮化铝(AlN)基板和加热层。加热层由钼材料制成并且通过瞬时液相结合而结合到AlN基板。加热器还可以包括布线层和将加热层连接到布线层的多个第一导电通孔。布线层和多个第一导电通孔可以由钼材料制成并且布线层和多个第一导电通孔中的至少一个通过瞬时液相结合结合到AlN基板。可以包括将布线层连接到AlN基板的表面的多个第二导电通孔并且多个第二导电通孔由钼材料制成并且可以通过瞬时液相结合而结合到AlN基板。
基本信息
专利标题 ：
陶瓷加热器和使用瞬时液相结合进行形成的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114557125A
申请号 ：
CN202080072020.3
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-09-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
帕特里克·马加维奥托德·布鲁克库尔特·英格利希
申请人 ：
沃特洛电气制造公司
申请人地址 ：
美国密苏里州圣路易斯拉克兰路12001
代理机构 ：
北京汇思诚业知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘晔
优先权 ：
CN202080072020.3
主分类号 ：
H05B3/26
IPC分类号 ：
H05B3/26 H05B3/14 H05B3/12 H05B3/28 H05B1/02 H01L21/67
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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