抛光制品、抛光系统和抛光方法
公开
摘要

本发明公开了一种抛光制品,该抛光制品包括具有工作表面的抛光层,该工作表面包括设置在工作表面上的至少一个多单元结构。多单元结构包括三个单元,被定义为第一单元、第二单元和第三单元。三个单元中的每一个单元包括限定单元形状的至少一个侧壁。第一单元和第二单元包括第一公共侧壁,该第一公共侧壁包括第一通道和第一轴线,第一通道具有第一通道长度,允许第一单元与第二单元之间的流体连通,第一轴线垂直于第一通道长度且基本上平行于工作表面。此外,第二单元和第三单元包括第二公共侧壁,该第二公共侧壁包括第二通道和第二轴线,第二通道具有第二通道长度,允许第二单元与第三单元之间的流体连通,第二轴线垂直于第二通道长度且基本上平行于工作表面。第一轴线与第二轴线之间的夹角为0°至小于180°。

基本信息
专利标题 :
抛光制品、抛光系统和抛光方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114599482A
申请号 :
CN202080074566.2
公开(公告)日 :
2022-06-07
申请日 :
2020-10-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈联舜詹姆斯·P·伯克贾斯廷·W·勒巴肯
申请人 :
3M创新有限公司
申请人地址 :
美国明尼苏达州
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
汪洋
优先权 :
CN202080074566.2
主分类号 :
B24B37/26
IPC分类号 :
B24B37/26  B24C1/00  B24D3/00  B29C59/02  B32B3/20  C09K3/14  H01L21/304  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/11
研具
B24B37/20
用于加工平面的研磨垫
B24B37/26
以研磨垫表面的形状为特征,如带有槽的
法律状态
2022-06-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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