非空间测量结果校准方法及相关系统和设备
公开
摘要
本文公开了用于针对被测设备(DUT)和非空间测量设备之间的错位来校准DUT的非空间测量结果的系统和方法。用于生成错位校准数据库的系统可以包括，例如，非空间测量设备和高精度平移台。系统可以通过取得在多个错位位置的DUT的测量结果来生成错位校准数据库。用于测量DUT的系统可以包括，例如，空间测量设备，非空间测量设备，平移台，和/或托盘。系统可以捕获在第一处的DUT的测量结果，并使用与第一处相对应的校准数据来针对错位校准测量结果。例如，系统可以从错位校准系统中得到接近DUT处的相同和/或不同位置取得的校准数据。
基本信息
专利标题 ：
非空间测量结果校准方法及相关系统和设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114631014A
申请号 ：
CN202080076967.1
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-10-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
简斯·J·简森
申请人 ：
雷迪安特视觉系统有限公司
申请人地址 ：
美国华盛顿州
代理机构 ：
北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邬玥
优先权 ：
CN202080076967.1
主分类号 ：
G01N21/00
IPC分类号 ：
G01N21/00 G01N21/88 H04N17/00 G09G3/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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