一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质
授权
摘要
本发明实施例公开了一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质。其中,该方法包括:根据芯片中的待测试链路的仿真模型,确定待测试链路的标准电阻;根据电迁移仿真测试过程中的多组仿真测试数据确定待测试链路的失效时间计算公式;确定与待测试链路对应的多组电迁移测试条件;控制电迁移测试系统对与待测试链路对应的电迁移测试样品进行电迁移测试,得到与各组电迁移测试条件对应的测试样品失效时间;根据各组电迁移测试条件中的预期失效时间与所对应的测试样品失效时间的比对结果,确定待测试链路的电迁移测试结果。本发明实施例可以对芯片中的链路进行电迁移测试,确定芯片中各链路的整个链路结构的电迁移实际情况。
基本信息
专利标题 :
一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112834911A
申请号 :
CN202110012866.4
公开(公告)日 :
2021-05-25
申请日 :
2021-01-06
授权号 :
CN112834911B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
尹鹏跃张水英
申请人 :
上海燧原智能科技有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区业盛路188号A-522室
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
孟金喆
优先权 :
CN202110012866.4
主分类号 :
G01R31/28
IPC分类号 :
G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试,例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-05-03 :
授权
2021-06-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20210106
申请日 : 20210106
2021-05-25 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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