镀制SiO2或Al2
授权
摘要
本发明公开了一种镀制SiO2或Al2O3材质的介质膜的锑碱光电阴极及镀制方法，用于消除防光晕视觉玻璃中有害成分对锑碱光电阴极结构的破坏而导致的阴极灵敏度衰退的问题。所述锑碱光电阴极包括AVG输入窗、锑碱光电阴极、微通道板、阳极铝膜、荧光屏及阳极输出面板,在AVG输入窗的内表面与锑碱光电阴极之间镀制一层均匀且致密的SiO2或Al2O3材质的介质膜，使得AVG输入窗的内表面、介质膜以及锑碱光电阴极连为一体。本发明的方法包括镀膜前准备、对真空反应腔抽真空、进行靶材除气、向真空反应腔通入氩气、镀制膜层、取出工件等步骤。本发明能够消除AVG中有害成分对锑碱光电阴极破坏的现象，有效提高锑碱光电阴极的稳定性，满足使用要求。
基本信息
专利标题 ：
镀制SiO2或Al2O3材质的介质膜的锑碱光电阴极及镀制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112885683A
申请号 ：
CN202110047289.2
公开（公告）日 ：
2021-06-01
申请日 ：
2021-01-14
授权号 ：
CN112885683B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
李晓峰钟梓源李廷涛潘治云张俊杨振常乐赵恒杨琼连张彦云
申请人 ：
北方夜视技术股份有限公司
申请人地址 ：
云南省昆明市红外路5号
代理机构 ：
昆明今威专利商标代理有限公司
代理人 ：
赛晓刚
优先权 ：
CN202110047289.2
主分类号 ：
H01J29/04
IPC分类号 ：
H01J29/04 H01J9/12 H01J31/50 C23C14/30 C23C14/08 C23C14/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J29/00
H01J31/00组中包含的各种阴极射线管或电子束管的零部件
H01J29/02
电极；屏；其安装、支承、配置或绝缘
H01J29/04
阴极
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2021-06-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 29/04
申请日 : 20210114
申请日 : 20210114
2021-06-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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