一种改善旋转喷涂制备NiZn铁氧体薄膜性能的方法
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摘要
一种改善旋转喷涂制备NiZn铁氧体薄膜性能的方法，属于薄膜制备技术领域。包括：1)清洗基板；2)将可溶性二价铁盐、镍盐、锌盐加入去离子水中，配制还原反应液；将亚硝酸钠、乙酸盐、乙酸加入去离子水中，配制氧化反应液；3)在基板温度90～95℃、旋转速度100～150r/min、氧化和还原反应液的供应速率0.6～1.0L/h、超声雾化功率2～3W的条件下，沉积10～60min。本发明通过在氧化液中预先构建乙酸‑乙酸钠缓冲对，提高溶液反应体系中OH‑离子浓度稳定性，提高旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜的成膜质量，使薄膜具有更好的结晶性、更均匀的晶粒和更高的饱和磁化强度、磁导率。
基本信息
专利标题 ：
一种改善旋转喷涂制备NiZn铁氧体薄膜性能的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113070196A
申请号 ：
CN202110225386.6
公开（公告）日 ：
2021-07-06
申请日 ：
2021-03-01
授权号 ：
CN113070196B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
余忠冉茂君孙科邬传健青豪蒋晓娜兰中文
申请人 ：
电子科技大学
申请人地址 ：
四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号
代理机构 ：
电子科技大学专利中心
代理人 ：
吴姗霖
优先权 ：
CN202110225386.6
主分类号 ：
B05D7/24
IPC分类号 ：
B05D7/24 B05D1/02 B05D1/00 B05D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D7/00
除植绒外，专门适用于对特殊表面涂布液体或其他流体的工艺，或涂布特殊的液体或其他流体的工艺
B05D7/24
涂布特殊液体或其他流体物质
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2021-07-23 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05D 7/24
申请日 : 20210301
申请日 : 20210301
2021-07-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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