一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法
授权
摘要

本发明涉及芯片与人工智能系统技术领域,尤其涉及一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法。本发明包括底板,所述底板上表面固定有检测仓,所述底板上表面固定有移出装置,所述移出装置顶部固定有固定装置,所述固定装置内壁夹持有气瓶,所述移出装置一端固定有密封门,所述检测仓顶部固定有顶架,所述顶架中部固定有切换装置,所述检测仓顶部一端固定有检测管,所述检测仓一侧固定有抽真空接头,所述检测仓内壁顶部固定有放气装置。本发明在检测时,气体不泄露,在检测完成后,通过真空泵抽出,防止气体泄漏,可对四种不同的气体进行分析,适应性较高,通过槽轮减速器可使四种气体分析传感器依次切换,且操作较为方便。

基本信息
专利标题 :
一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113049756A
申请号 :
CN202110338512.9
公开(公告)日 :
2021-06-29
申请日 :
2021-03-30
授权号 :
CN113049756B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
汪海燕
申请人 :
黄沃辉
申请人地址 :
广东省广州市萝岗区科学城彩频路8号
代理机构 :
东莞市浩宇专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
石艳丽
优先权 :
CN202110338512.9
主分类号 :
G01N33/00
IPC分类号 :
G01N33/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2022-05-13 :
授权
2022-05-06 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : G01N 33/00
登记生效日 : 20220425
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 黄沃辉
变更后权利人 : 铜陵安德科铭电子材料科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 510350 广东省广州市萝岗区科学城彩频路8号
变更后权利人 : 244000 安徽省铜陵市经济开发区东部园区临津路
2021-07-16 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 33/00
申请日 : 20210330
2021-06-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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