一种高强度高热导氮化硅陶瓷基板及其制备方法和应用
授权
摘要
本发明实施例公开了一种高强度高热导氮化硅陶瓷基板及其制备方法和应用,涉及陶瓷基板制备技术领域。制备方法包括:对分散剂和溶剂进行球磨处理,得到分散剂溶液;在保持球磨状态下依次向分散剂溶液中加入烧结助剂和氮化硅陶瓷粉体,继续球磨得到稳定悬浮液;向稳定悬浮液中加入增塑剂,在保持球磨状态下分多次向稳定悬浮液中加入粘接剂,继续球磨得到流延浆料;对流延浆料进行脱泡处理;通过流延成型工艺将流延浆料制备为生胚片;将生胚片堆叠后得到初始胚体;依次通过冷等静压工艺、排胶工艺以及烧结工艺将初始胚体制成陶瓷。通过本发明实施例提供的方法能够制备兼具高强度以及高热导的氮化硅陶瓷基板,并且氮化硅陶瓷基板强度的各向异性较小。
基本信息
专利标题 :
一种高强度高热导氮化硅陶瓷基板及其制备方法和应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113087531A
申请号 :
CN202110361923.X
公开(公告)日 :
2021-07-09
申请日 :
2021-04-02
授权号 :
CN113087531B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
伍尚华吕东霖杨平李建斌
申请人 :
广东工业大学
申请人地址 :
广东省广州市东风东路729号
代理机构 :
深圳市精英专利事务所
代理人 :
蒋学超
优先权 :
CN202110361923.X
主分类号 :
C04B35/596
IPC分类号 :
C04B35/596 C04B35/81 C04B35/622 H01L23/15
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/515
以非氧化物为基料的
C04B35/58
以硼化物、氮化物或硅化物为基料的
C04B35/584
以氮化硅为基料的
C04B35/587
精细陶瓷
C04B35/596
复合材料
法律状态
2022-06-14 :
授权
2021-07-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C04B 35/596
申请日 : 20210402
申请日 : 20210402
2021-07-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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