一种电路用氮化硅陶瓷基片及其制备方法
公开
摘要

本发明涉及陶瓷基片领域,提供一种电路用氮化硅陶瓷基片及其制备方法,解决采用现有技术的制备方法无法获得尺寸精度高、韧性高、热导率高的氮化硅陶瓷基板的问题;包括以下制备步骤:(1)流延浆料配制;(2)流延成型:将流延浆料通过流延机制备成流延素坯带;(3)冲切成形:将流延素坯带冲切成形为具有一定形状和尺寸的素坯片;(4)叠片;(5)排胶;(6)高温气压烧结;其中,所述α‑Si3N4粉体与助烧结剂的用量比以重量百分比计=90‑96:4‑10;所述α‑Si3N4粉体采用自蔓延法制备而成。

基本信息
专利标题 :
一种电路用氮化硅陶瓷基片及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114591090A
申请号 :
CN202210058831.9
公开(公告)日 :
2022-06-07
申请日 :
2022-01-19
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨大胜周和平施纯锡
申请人 :
福建华清电子材料科技有限公司
申请人地址 :
福建省泉州市晋江市经济开发区(五里园)灵石路2号
代理机构 :
泉州市诚得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
林小彬
优先权 :
CN202210058831.9
主分类号 :
C04B35/593
IPC分类号 :
C04B35/593  C04B35/622  C04B35/626  C04B35/645  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/515
以非氧化物为基料的
C04B35/58
以硼化物、氮化物或硅化物为基料的
C04B35/584
以氮化硅为基料的
C04B35/587
精细陶瓷
C04B35/593
用热压法获得的
法律状态
2022-06-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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