薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置

授权

摘要

本申请提供了一种薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置，薄膜晶体管，包括层叠且通过层间绝缘层绝缘设置的有源结构和栅极，有源结构包括源区、漏区和沟道区，源区和漏区位于沟道区的两侧，栅极为包括开口的图案结构层，开口在层间绝缘层的正投影位于沟道区在层间绝缘层的正投影内。本申请实施例通过在栅极上设置开口，从而减小反型层的长度，进而在不改变源极或漏极线宽的前提下，增大了薄膜晶体管的宽长比，提高薄膜晶体管的驱动能力。

基本信息

专利标题：

薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113327989A

申请号：

CN202110546950.4

公开（公告）日：

2021-08-31

申请日：

2021-05-19

授权号：

CN113327989B

授权日：

2022-05-17

发明人：

李东华魏晓丽

申请人：

厦门天马微电子有限公司

申请人地址：

福建省厦门市翔安区翔安西路6999号

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

娜拉

优先权：

CN202110546950.4

主分类号：

H01L29/786

IPC分类号：

H01L29/786 H01L29/423 H01L27/12