聚酰亚胺正型光阻组成物及其用途
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种聚酰亚胺正型光阻组成物，包括：一树脂成分；一交联剂；一感光剂；以及一溶剂。其中，树脂成分包括：30wt％至90wt％之聚酰亚胺树脂；1wt％至60wt％之双酚类树脂；以及0.1wt％至10wt％之聚硅烷树脂。本发明还提供前述光阻组成物的用途。
基本信息
专利标题 ：
聚酰亚胺正型光阻组成物及其用途
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326301A
申请号 ：
CN202110628509.0
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-06-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林伯南林诣婕黎振立叶子瑭周乃天黄新义林昭文
申请人 ：
台湾永光化学工业股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台北市敦化南路2段77号6楼
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
鄢功军
优先权 ：
CN202110628509.0
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/039 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20210604
申请日 : 20210604
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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