一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法
授权
摘要
本发明公开一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法，尤其涉及碳化硅半导体材料加工用复合结合剂超硬材料砂轮配方及制备方法。配方主要有以下组成，金刚石磨料25‑45%、预合金粉25‑40%、聚苯硫醚8~20%、氧化锌晶须10~18%、SG磨料8‑22%。本发明制备采用聚苯硫醚和锌铜合金粉作为复合结合剂体系，该结合剂体系对磨料把持力强，抵抗大尺寸碳化硅的高磨削阻力，磨削力强。铁铝等细化了合金体系的晶粒组织，并且增加脆性，提高砂轮磨削锋利性。同时晶须等的利用可以增加砂轮层微观组织的各项同性，获得较好的均质状态，解决碳化硅衬底磨削稳定性问题。彻底解决了大尺寸碳化硅衬底加工难题。
基本信息
专利标题 ：
一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113500535A
申请号 ：
CN202110683096.6
公开（公告）日 ：
2021-10-15
申请日 ：
2021-06-21
授权号 ：
CN113500535B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
王礼华赵延军张高亮左冬华钱灌文曹剑锋孙冠男
申请人 ：
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市高新区梧桐街121号
代理机构 ：
郑州联科专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
张丽
优先权 ：
CN202110683096.6
主分类号 ：
B24D3/02
IPC分类号 ：
B24D3/02 B24D3/34 B24D18/00 B24D5/06 B24D7/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24D
磨削、抛光或刃磨用的工具
B24D3/00
研磨体或研磨板的物理特征，如特殊性质的研磨面；研磨体或研磨板的成分特征
B24D3/02
用作黏结剂的成分
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-11-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24D 3/02
申请日 : 20210621
申请日 : 20210621
2021-10-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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